奥普光电：理论上讲超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机
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奥普光电：理论上讲超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机
2023-07-31 13:30:00
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问老师，从理论上讲，光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？
奥普光电（002338.SZ）7月31日在投资者互动平台表示，理论上讲，超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机。
（文章来源：每日经济新闻）
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